CPDA-100Z 系列（加熱型）

電容薄膜真空計 帶加熱（45℃～100℃）

準(zhǔn)確度：0.25%（RD）

該系列產(chǎn)品是我司經(jīng)多年研究開發(fā)的一款高精度、高穩(wěn)定的儀表。可用于精確測量初、

中真空領(lǐng)域的真空度，被廣泛用于半導(dǎo)體集成電路制造設(shè)備、航天工業(yè)、核工業(yè)、石油

冶煉、鋼鐵冶煉、電子工業(yè)等各相關(guān)行業(yè)。

采用雙電容結(jié)構(gòu)降低干擾影響，并提供有45°C～100°C恒溫控制以提供長期穩(wěn)定性和重

復(fù)性，測量準(zhǔn)確度高。

CPDA-500Z 系列（Relay型）

電容薄膜真空計

準(zhǔn)確度：0.25%（RD）

該系列產(chǎn)品的基本功能與CPDA-100Z相同，在此基礎(chǔ)上增加了兩個用戶可調(diào)節(jié)

的過程跳變點繼電器，每個繼電器的調(diào)節(jié)范圍為滿量程的0.1%至100%，雙色

LED指示繼電器狀態(tài)。

CPXA-100Z 系列（小型規(guī)）

小型電容薄膜真空計

準(zhǔn)確度：0.5%（RD）

該系列產(chǎn)品是本司經(jīng)多年研究開發(fā)的一款是體積緊湊，相對成本較低的電容薄膜真空計。

采用24V電源，輸出0-10V標(biāo)準(zhǔn)電信號，輸出電信號與被測真空壓力成線性關(guān)系，輸出可

靠穩(wěn)定。與測量氣體介質(zhì)相接觸的部分采用高鉻鎳合金，具有很強的抗腐蝕能力。采用

雙電容結(jié)構(gòu)降低干擾影響，測量準(zhǔn)確度高。

CPXA-500Z 系列（開關(guān)規(guī)）

小型電容薄膜真空壓力開關(guān)

準(zhǔn)確度：0.5%（FS）

該系列產(chǎn)品是一款體積緊湊，相對成本較低的薄膜真空計。提供繼電器輸出，與控制器、報警器、

閥門執(zhí)行器和其他保護裝置連接，為真空設(shè)備提供精準(zhǔn)、可靠的保護，實現(xiàn)直接控制，適用于不

需要直流信號輸出的應(yīng)用場合。輸出繼電器為一對“常開”與“常閉”觸點，繼電器模式可以設(shè)置為

在設(shè)定值以上或以下接通。

CPCA-100Z 系列（工業(yè)型）

電容薄膜式絕對壓力變送器

準(zhǔn)確度：0.5%（FS）

該系列是我公司長期以來研發(fā)和生產(chǎn)的主要產(chǎn)品。主用于測量系統(tǒng)中的初、中真空壓力，

具有測量正確度高、穩(wěn)定性好、抗腐蝕能力強、輸出信號可直接參與系統(tǒng)的自動化控制

等特點，并可在儀表上設(shè)置壓力控制點。多種可選的電源輸入方式豐富了產(chǎn)品的使用范

圍。其接口方式等均與國外同類產(chǎn)品相同，可直接替換使用。

CPCA-300Z 系列（防爆型）

電容薄膜式絕對壓力變送器

準(zhǔn)確度：0.5%（FS）

該系列產(chǎn)品是在CPCA-100Z系列基礎(chǔ)上，開發(fā)的一種具有防爆功能的真空壓力測量儀表，

可以在有爆炸性氣體的場合被使用，隔爆等級為dBⅡT5。同時，具有完整的金屬外殼有

很好的抗外部干擾能力。

CPCD-100Z 系列

差壓變送器

準(zhǔn)確度：0.5%（FS）

該產(chǎn)品是用于測量兩個系統(tǒng)之間差壓的儀表。采用了電容薄膜技術(shù)研發(fā)制造，主要測試

膜片材質(zhì)采用了鎳基合金材料，使它具有耐腐蝕的特性，儀表的輸出信號與被測壓力之

間呈線性關(guān)系，具有測量準(zhǔn)確度高，穩(wěn)定性好，反應(yīng)速度快等特點。可直接替代國外同

類產(chǎn)品。

ZKJ-200Z 系列（保溫型）

高精度真空計

準(zhǔn)確度：0.25%（FS）

該系列產(chǎn)品是在原基型的基礎(chǔ)上進一步發(fā)展和提高，它帶有特制的傳感器保溫控制系統(tǒng)，

使其在外界溫度變化時，保證傳感部分不受影響，使整個變送器的隨機零飄和溫度系數(shù)大

大降低，從而提高了儀表的整體性能。